Hochempfindliche, schnelle Gas- und Dampfanalytik bei nahezu Atmosphärendruck

Dieses Tischsystem zur Gasanalyse kombiniert ein Dreifachfilter-Quadrupol-Massenspektrometer mit einem beheizten Quarz-Inertkapillar-(QIC)-Einlass für die kontinuierliche Echtzeitmessung von freigesetzten Gasen und Dämpfen bei Drücken nahe Atmosphärendruck.

Es ist für anspruchsvolle Forschungsanwendungen ausgelegt und liefert hohe Empfindlichkeit, Selektivität und schnelle Ansprechzeiten für dynamische Experimente wie Katalyse- und Reaktionskinetik, thermische Analyse-Massenspektrometrie (TA/MS), thermische Desorptionsstudien, CVD/MOCVD/ALCVD-Prozesscharakterisierung, Umweltmonitoring, Glovebox-Monitoring sowie Trenn- und Reinheitsuntersuchungen von Gasen.

Wesentliche Leistungsmerkmale sind:

• Dreifachfilter-Massenspektrometer mit verbesserter Auflösung und Abundanzsensitivität; Nachweis bis 5 ppb (abhängig von spektralen Interferenzen)
• QIC-Probenahme für die kontinuierliche Analyse von Gasen und Dämpfen; flexible 2 m Kapillare, betrieben bis 200 °C, zur Minimierung von Kondensations- und Memory-Effekten; Ansprechzeiten < 300 ms (für die meisten gängigen Gase und Dämpfe)
• Massenbereich 200 amu; Optionen 300 sowie 500 (bzw. 510 je nach Ausführung) und 1000 amu
• Elektronenstoßionisation; Dualdetektorkonfiguration (Faraday und Sekundärelektronenvervielfacher) für großen Dynamikbereich
• Soft-Ionisation durch Einstellen der Ionisationsenergie zur Vereinfachung komplexer Gas-/Dampf-Gemische: 4 bis 150 eV in 0,1-eV-Schritten (Standardbetrieb 70 eV)

Für die Probenahme stehen Einlassoptionen für Messungen oberhalb und unterhalb des Atmosphärendrucks zur Verfügung, einschließlich Hochdruckeinlässen bis 30 bar sowie spezieller Kapillaren bis 1 mbar. Mehrstrom-Selektoren sind in 2-, 8-, 16-, 20-, 40- und 80-Wege-Varianten erhältlich.

Das Ergebnis ist eine flexible F&E-Plattform für zuverlässige, quantitative und zeitaufgelöste Gas- und Dampfanalytik in Labor- und Pilotaufbauten.